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无油式真空泵

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真空镀膜机怎么选配真空泵?

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真空镀膜机怎么选配真空泵?

发布日期:2021-09-05 00:00 来源://888518.s.artbloger.com 点击:

对真空电镀机器设备来讲,真空泵(beng)是其得到真空不可以缺(que)乏的(de)一个(ge)构(gou)成部分,生(sheng)产商每生(sheng)产制造一台真空电镀机器设备均配搭一种或多种多样真空泵(beng)。

真(zhen)空镀膜机怎样型号选择采用真(zhen)空泵时,必须留意以下事宜(yi):

1、真空(kong)(kong)泵的(de)工(gong)作(zuo)压强应当考虑真空(kong)(kong)技(ji)术的(de)極限(xian)真空(kong)(kong)泵及工(gong)作(zuo)压强规(gui)定。

如(ru):真(zhen)(zhen)空镀膜机(ji)规定(ding)(ding)(ding)1x10-5毫米Hg的(de)(de)真(zhen)(zhen)空度(du)(du)(du),采用的(de)(de)真(zhen)(zhen)空泵的(de)(de)真(zhen)(zhen)空度(du)(du)(du)最少(shao)要5x10-6毫米Hg.真(zhen)(zhen)空镀膜机(ji)针对(dui)真(zhen)(zhen)空度(du)(du)(du)的(de)(de)極限规定(ding)(ding)(ding)和工作压力强度(du)(du)(du)规定(ding)(ding)(ding)越来越大(da),对(dui)真(zhen)(zhen)空泵的(de)(de)真(zhen)(zhen)空包装(zhuang)工作能力规定(ding)(ding)(ding)就越高,一般选择泵的(de)(de)真(zhen)(zhen)空度(du)(du)(du)要高过真(zhen)(zhen)空技术(shu)真(zhen)(zhen)空度(du)(du)(du)一个半(ban)到一个量(liang)级。

2、恰当地选(xuan)择(ze)真空(kong)泵的工作(zuo)压力。

当泵(beng)必须(xu)的空气压力不(bu)太高(gao)或(huo)(huo)需(xu)要的真(zhen)空度不(bu)太高(gao)的情况(kuang)下,可优先(xian)选择在单极(ji)泵(beng)中开展选择,渡(du)过排气管工作压力或(huo)(huo)真(zhen)空度的规定(ding)较为高(gao),单极(ji)泵(beng)通(tong)常不(bu)能(neng)符合要求,能(neng)够选择应用(yong)二级(ji)泵(beng)或(huo)(huo)是多(duo)级(ji)离心(xin)泵(beng)。

如:扩散泵(beng)为(wei)10-3~10-7mmHg,在那样宽压强范畴(chou)内,泵(beng)的泵(beng)效随压强而转变,其平稳(wen)的工(gong)作压强范畴(chou)为(wei)5*10-4~5x10-6毫米(mi)Hg。因(yin)此,泵(beng)的工(gong)作点应(ying)当选在这(zhei)个范畴(chou)以内,而不可以让它在10-8毫米(mi)Hg下(xia)长(zhang)期性工(gong)作。又如钛提(ti)升泵(beng)能(neng)够在10-3mmHg下(xia)工(gong)作,但其工(gong)作压强应(ying)低于(yu)1x10-5毫米(mi)Hg为(wei)好。

3、真空(kong)泵在其工作压(ya)强下,应能排出去真空(kong)技术加工工艺(yi)全过程中造成的所有汽(qi)体(ti)量。

4、恰当地组(zu)成真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)。因为真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)有(you)(you)(you)选择性(xing)抽真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong),因此,有(you)(you)(you)时候采用(yong)一(yi)-种泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)不可(ke)(ke)以(yi)(yi)考虑(lv)抽真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)规定,必(bi)(bi)(bi)须(xu)几类(lei)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)组(zu)成起(qi)來(lai),相互之间填补才可(ke)(ke)以(yi)(yi)考虑(lv)抽真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)规定。如钛提升(sheng)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)对(dui)氢有(you)(you)(you)很(hen)高的(de)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)效(xiao)(xiao),但不可(ke)(ke)以(yi)(yi)抽氦(hai),而三极型(xing)磁控溅(jian)射离子(zi)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng),(或二(er)极型(xing)非对(dui)称加密负极磁控溅(jian)射离子(zi)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng))对(dui)氩(ya)有(you)(you)(you)一(yi)定的(de)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)效(xiao)(xiao),二(er)者组(zu)成起(qi)來(lai),便会使真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)设备获得(de)不错的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度。此外,有(you)(you)(you)的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)不可(ke)(ke)以(yi)(yi)在大气压力(li)(li)下工作,必(bi)(bi)(bi)须(xu)预真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng):有(you)(you)(you)的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)出入口压强小于大气压力(li)(li),必(bi)(bi)(bi)须(xu)前面泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng),故都必(bi)(bi)(bi)须(xu)把泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)组(zu)成起(qi)來(lai)应用(yong)。

5、真空(kong)镀膜机对(dui)油(you)(you)(you)环境污染的规定(ding)。若机器设备严格管(guan)理(li)隔膜真空(kong)泵时,应(ying)当选(xuan)各种(zhong)各样(yang)无汽(qi)油(you)(you)(you)泵,如:干(gan)泵、碳分子(zi)筛吸咐(fu)泵、磁控溅射离子(zi)泵低(di)温泵等。假如规定(ding)不(bu)严苛,能(neng)够选(xuan)择有汽(qi)油(you)(you)(you)泵,再加一些抗油(you)(you)(you)环境污染对(dui)策,亦或(huo)者(zhe)冷阱、障板(ban)、挡(dang)油(you)(you)(you)阱等,也可以做到清理(li)真空(kong)泵规定(ding)。

6、掌(zhang)握被(bei)抽汽体(ti)(ti)成(cheng)份,汽体(ti)(ti)中(zhong)含没(mei)(mei)有(you)可凝蒸汽,有(you)没(mei)(mei)有(you)颗(ke)粒物尘土,有(you)没(mei)(mei)有(you)腐(fu)蚀等。选择真(zhen)空泵(beng)时,必须(xu)了解汽体(ti)(ti)成(cheng)份,对(dui)(dui)于被(bei)抽汽体(ti)(ti)选择相(xiang)对(dui)(dui)的(de)泵(beng)。假如(ru)汽体(ti)(ti)中(zhong)带有(you)蒸汽、颗(ke)粒物、及腐(fu)蚀汽体(ti)(ti),应当(dang)考(kao)虑到在(zai)泵(beng)的(de)进风口管道上安裝輔助机器设备(bei),如(ru)冷却器、除(chu)尘设备(bei)等。

7、真(zhen)(zhen)空泵排出(chu)去的油(you)蒸汽(qi)对(dui)自然环境(jing)(jing)的危害怎样。假如自然环境(jing)(jing)不允许有(you)环境(jing)(jing)污染(ran),能够选无(wu)油(you)真(zhen)(zhen)空泵,或是把油(you)蒸汽(qi)排到户外(wai)。

8、真空泵工作时(shi)造成的(de)震动(dong)对(dui)加(jia)工工艺(yi)全过程及(ji)自然环境有没(mei)有危害。若(ruo)加(jia)工工艺(yi)全过程不允许,应选择无震动(dong)的(de)泵或是采(cai)用防(fang)震动(dong)对(dui)策(ce)。

9、真空泵的价钱、运行及检修花费(fei)也是(shi)大家(jia)考虑(lv)到的关键之(zhi)一。



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