1 简介

真空泵是一种旋转式变容(rong)真空泵须有前(qian)级泵配合方可使用(yong)在较宽的(de)压力(li)范围内有较大(da)的(de)抽速对被抽除气(qi)体中含有灰尘和(he)水蒸(zheng)汽(qi)不(bu)敏感广泛用(yong)于(yu)冶金、化工、食品、电子镀膜(mo)等(deng)行(xing)业。[1]

2 特点

(1)在(zai)较(jiao)宽的(de)压力(li)范(fan)围(wei)内有较(jiao)大的(de)抽(chou)速；

(2)转子具有(you)良(liang)好的几何对(dui)称(cheng)性(xing)，故振动(dong)小，运(yun)转平稳(wen)。转子间及转子和壳体间均有(you)间隙(xi)，不用润滑，摩(mo)擦损失(shi)小，可大大降低驱动(dong)功率，从而(er)可实现较高转速；

(3)泵腔(qiang)内无需用油密(mi)封和润(run)滑，可(ke)减少(shao)油蒸气对真空系统的污染；

(4)泵(beng)腔内(nei)无(wu)压缩(suo)，无(wu)排气阀(fa)。结构简单(dan)、紧凑，对被抽气体中的(de)灰尘和水蒸汽不敏感；

(5)压缩比较低(di)，对氢气(qi)(qi)抽(chou)气(qi)(qi)效果(guo)差(cha)；

(6)转子表面为形状较(jiao)为复杂的曲线柱面，加(jia)工和检查比较(jiao)困难(nan)。

3 结构

（1） 泵总体结构型式

真(zhen)空泵(beng)的泵(beng)体的布置结(jie)构(gou)决定(ding)了泵(beng)的总体结(jie)构(gou)。

立式结构(gou)的进(jin)、排(pai)气口(kou)水平设置，装配和连接管路都比较(jiao)(jiao)方(fang)便。但(dan)泵的重(zhong)心较(jiao)(jiao)高，在高速(su)运转(zhuan)时稳定(ding)性差，故这(zhei)种型式多用于小泵。

卧式泵(beng)的(de)进气(qi)口在上，排气(qi)口在下。有时(shi)(shi)为了真空系统管道安装连接(jie)方(fang)便，可将(jiang)排气(qi)口从水平方(fang)向接(jie)出(chu)，即(ji)进、排气(qi)方(fang)向是相互垂直的(de)。此(ci)时(shi)(shi)，排气(qi)口可以从左或右两个方(fang)向开口，除接(jie)排气(qi)管道一端(duan)(duan)外，另一端(duan)(duan)堵死或接(jie)旁通阀。这种泵(beng)结构(gou)(gou)重(zhong)心低，高速运(yun)转时(shi)(shi)稳定性好。一般大、中型泵(beng)多采用(yong)此(ci)种结构(gou)(gou)。

泵(beng)(beng)的两个转(zhuan)子(zi)(zi)轴与水(shui)平面垂(chui)直安(an)装(zhuang)(zhuang)。这种结构装(zhuang)(zhuang)配(pei)间隙容易(yi)控制，转(zhuan)子(zi)(zi)装(zhuang)(zhuang)配(pei)方便，泵(beng)(beng)占地面积小。但泵(beng)(beng)重(zhong)心较高且齿轮拆装(zhuang)(zhuang)不便，润滑机(ji)构也(ye)相(xiang)对(dui)复杂。

（2） 泵的传(chuan)动方式(shi)

真空泵(beng)的(de)两(liang)(liang)个(ge)转子是通过(guo)一(yi)对高精(jing)度(du)齿(chi)(chi)轮(lun)来实现其相对同步运转的(de)。主动(dong)(dong)(dong)轴通过(guo)联(lian)轴器与(yu)电机联(lian)接(jie)。在(zai)(zai)传动(dong)(dong)(dong)结(jie)(jie)构(gou)布置(zhi)上主要有以下两(liang)(liang)种：其一(yi)是电动(dong)(dong)(dong)机与(yu)齿(chi)(chi)轮(lun)放在(zai)(zai)转子的(de)同一(yi)侧如图(tu)。从动(dong)(dong)(dong)转子由电动(dong)(dong)(dong)机端齿(chi)(chi)轮(lun)直接(jie)传过(guo)去(qu)带动(dong)(dong)(dong)，这(zhei)样主动(dong)(dong)(dong)转子轴的(de)扭转变形小，则两(liang)(liang)个(ge)转子之间(jian)(jian)的(de)间(jian)(jian)隙(xi)不会因主动(dong)(dong)(dong)轴的(de)扭转变形大而改变，故(gu)使转子之间(jian)(jian)的(de)间(jian)(jian)隙(xi)在(zai)(zai)运转过(guo)程(cheng)中均匀。这(zhei)种传动(dong)(dong)(dong)方式的(de)最大缺点(dian)是：a.主动(dong)(dong)(dong)轴上有三(san)个(ge)轴承，增加了泵(beng)的(de)加工和(he)装(zhuang)配难度(du)，齿(chi)(chi)轮(lun)的(de)拆装(zhuang)及调整(zheng)也不便；b.整(zheng)体结(jie)(jie)构(gou)不匀称，泵(beng)的(de)重(zhong)心偏向电动(dong)(dong)(dong)机和(he)齿(chi)(chi)轮(lun)箱一(yi)侧。

    极限(xian)(xian)真(zhen)空(kong)(kong)”是(shi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)的一(yi)个重要(yao)参数，是(shi)反应泵(beng)(beng)抽气(qi)能力的特性(xing)值(zhi)(zhi)，是(shi)与(yu)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)相关的一(yi)个数值(zhi)(zhi)，不(bu)同的真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)可以有不(bu)同的“极限(xian)(xian)真(zhen)空(kong)(kong)”度(du)。而“理论真(zhen)空(kong)(kong)”是(shi)理论研(yan)究时的一(yi)个概念，是(shi)排(pai)除各种实际因素的影响而提炼出的一(yi)种最理想的真(zhen)空(kong)(kong)状态(tai)。真(zhen)空(kong)(kong)容器(qi)经充(chong)分(fen)抽气(qi)后，稳(wen)定在某一(yi)真(zhen)空(kong)(kong)度(du)，此(ci)真(zhen)空(kong)(kong)度(du)称(cheng)为(wei)极限(xian)(xian)真(zhen)空(kong)(kong)。通(tong)常真(zhen)空(kong)(kong)容器(qi)须经12小(xiao)时炼气(qi)，再经12小(xiao)时抽真(zhen)空(kong)(kong)，最后一(yi)个小(xiao)时每(mei)隔10分(fen)钟测量一(yi)次，取其(qi)10次的平均(jun)值(zhi)(zhi)为(wei)极限(xian)(xian)真(zhen)空(kong)(kong)值(zhi)(zhi)。